记者杨丽娟报道 换鞋、更衣、风淋……6月20日,记者在大连华邦化学有限公司的9N纯化器千级实验室前看到,技术人员和工人要经过几道门才能进入组装件车间进行生产。大连华邦公司总经理侯鹏兴奋地告诉记者:“我们公司生产的9N级气体纯化器,在全国100多家半导体设备公司的产品中脱颖而出,荣获中国半导体创新产品和技术奖,成为近两年我省唯一获此奖项的单位。”

  原来,“2019世界半导体大会暨第十七届中国半导体市场年会”5月17日至19日在南京国际博览中心举办,大连华邦依靠自主创新生产的9N级气体纯化器,采用全新工艺制备技术路径,达到国际同类顶级纯化器水平,因而获此殊荣。澳门皇冠

  高纯度氮气、氢气、氧气、氩气等气体是超大规模集成电路、平面显示器和半导体器件等电子工业生产必不可少的原材料,而这些高纯度电子气体制备的关键设备——气体纯化器,生产难度大、生产环境要求苛刻、设备运行稳定性要求高,目前世界上只有少数几个国家能生产。

  大连华邦团队的骨干成员从事气体纯化研究20余年,目睹了国内半导体行业气体纯化设备领域的困境,决心改变这一现状。2013年,大连华邦组建了6个人的创业团队,并成立大连华邦化学有限公司,从事超纯气体纯化技术、催化剂等产品的研发,矢志研发出中国人自己的9N级气体纯化器。

  创业团队从一间办公室、5张办公桌开始起步,从国外买来先进的试验装备,投资百万元搭建“高纯气体分析实验室”。经过6年的努力,终于成功研制出具有自主知识产权的9N级气体纯化器。该产品可将气体中的杂质脱除至十亿分之一以下,凭借世界领先的9N级纯度和高稳定性,实现了我国半导体高端装备国产化领域的又一重大突破,价格比国际同类产品低30%。

  目前,华邦的产品已得到包括英特尔、海力士、京东方、中芯国际等国内外顶级半导体企业在内的120余家单位的认可和应用,并逐步向更广阔的超纯气体应用领域拓展,销售额以50%的速度逐年递增。

  侯鹏告诉记者,随着半导体行业的不断升级,芯片线宽已经从微米级提升至纳米级,对纯化器产气纯度的要求也越来越高。华邦用了6年时间追赶上国际先进水平,但随着半导体生产线的升级,国际上新一代纯化器即将推出,华邦还需进一步努力,跟上国际设备发展的步伐。华邦争取在未来5到10年,在气体纯化领域达到国际最先进水平,为中国半导体行业发展保驾护航。返回搜狐,查看更多